接着剤不要の電界制御で薄型ウェハーの補強・固定が可能！ 薄いウェハ―を固定した状態で 電気テストが可能です。
『CP Supporter』は、極薄ワークを吸着保持して補強する 静電チャックキャリアです。 表裏導通が可能なため、電気テストでご利用いただけます。 コードレスの為、固定した状態で、さまざまなプロセスへの 投入が可能。 厚みが薄く、ウェハー吸着保持した状態でキャリアに 挿入できます。 【特長】 ■表裏導通が可能なため電気テストでの利用が可能 ■接着剤を使用せず電界制御のみで薄型ウェハーの補強・固定が可能 ■コードレスの為固定した状態でさまざまなプロセスへの投入が可能 ■厚みが薄くウェハー吸着保持した状態でキャリアに挿入可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【仕様(一部)】 ■対象物の材質：半導体 ■制御：専用コントローラ ■動作環境：大気～真空 200℃Max. ■吸着動作時間：30sec程度 ■吸着解除時間：5sec以内 ■定格入力電圧：AC100-115V 50/60Hz コンセント使用 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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企業情報
筑波精工株式会社は、主に静電吸着システムの開発・製造・販売を行っている会社です。当社の静電チャックが、皆様の技術革新歩留まりアップ生産効率改善のお役にたてるよう、試作品から量産品まで、お客様要求仕様にあわせ1Pから製作対応致しますので、お気軽にお問い合わせ下さい。
