Φ300mm高屈折率ガラスウエハ用非接触ピンセット
φ３００ｍｍ高屈折率ガラスウエハ撓ますことなく、ストレスをかけることなく、キズ、汚れを付着させることなくマニュアル操作によるピンセットにて非接触にて移載およびハンドリングする。
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基本情報
φ３００mm 厚さ２０μmの高屈折率ガラスウエハを気体を噴出することによりピンセットのようにマニュアル操作によるバルブ操作により、ウエハ、チップを非接触にて掴み、所定の場所に搬送する非接触ピンセット。非接触であるのでウエハに傷を付けず、簡易に非接触にて搬送する。
価格情報
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納期
用途／実績例
厚さ２０μm、φ３００ｍｍ高屈折率ガラスウエハの非接触にて掴み、搬送、移裁、反転するピンセット
企業情報
当社にて発明、開発した垂直気体噴流方式の非接触搬送装置「フロートチャック」（特許）を用いたウエハ、液晶ガラス基板、ＰＤＰ、セラミック、プリント基板、ＦＰＣ基板、フィルム、紙、布等の非接触搬送装置および応用装置の製作。
