付ピエゾスキャナ - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

開口66mm 多軸開口部付ピエゾスキャナー P-517/527

摩擦ゼロのフレクシャガイドによる一体型構造—XY軸、XYZ軸、XYθz軸動作が可能

P-517/527マルチ軸ピエゾスキャナは、摩耗ゼロのフレクシャガイドとPICMAピエゾセラミック、静電容量センサーを用いて、ナノレベルの再現性、分解能をもち、動作軸は、XY軸、XYZ軸、XYθz軸のタイプがあります。 XY軸は100µmと200µm、Z軸は20µm、θzは2mradタイがあります。耐荷重50Nあり、光学検査、ウェハー検査、ナノポジショニング、計測、顕微鏡などアプリケーションに最適。 センター開口部は、66×66mm。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。