体非接触チャック(搬送) - 企業1社の製品一覧

超薄反り板状体非接触チャック

超薄反りウエハを触らずにつかむ非接触搬送装置

◎特長 １．超薄反りウエハ・板状体を非接触にて把持、搬送 ２．ウエハに損傷を与えない ３．汚れを付けない ◎ 適応 １．反りのあるウエハ ２．GaSaウエハ ３．極薄ウエハ ４．表面処理ウエハ

• 企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所 大阪事業所
• 価格：応相談

• その他半導体製造装置
• CVD装置
• 加熱装置