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修正キャリア - メーカー・企業と製品の一覧

修正キャリアの製品一覧

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【修正キャリア(パッドドレッサー)】に潜む危険とは

研磨PADの修正に当たり前のように使っているDP付修正キャリアですが、実はおおきなデメリットもあります。それが何かわかりますか?

研磨の基本は研磨PADの精度管理が重要ですが、その精度を維持するためによく使われているのがDP付修正キャリアですね。 修正キャリアを使うことで精度修正の他にパッドの洗浄効果など重要な役割がありますが、状況によっては研磨するうえで大変危険なデメリットもあるんです。 1.サビ(錆) 2.上面側の研磨速度が遅い 3.設置に二人がかり(または機械で設置が必要) この3つのうち「上下面の研磨速度が違う」と「設置の問題」に共通する要因に「重さ」があります。 設置で考えれば、軽いと設備が大きくても作業性や安全性の向上に繋がるのは簡単に想像できますね。 一方、上下の研磨速度と重さの関連性とはなんでしょうか? 研磨はg単位で条件設定します。そのため修正キャリアの重さがドレス、ツルーイング時に悪影響を与えることもあります。 重ければ重いほど下面に掛かる圧力が増大し、上下のPADの表面状態に変化が生まれます。 できる限り同じ状態にするには修正キャリアは軽いほうがいいのは間違いありません。 そんなデメリットを打ち消す、超軽量修正キャリアを無償で試してみませんか?

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【成功事例】DP付修正キャリア~最も喜ばれているポイント~

DP付修正キャリアをご採用頂いたお客様に最も喜ばれているのは環境に合わせたカスタマイズ。カスタマイズ事例を紹介します。

DP付修正キャリア、パッドドレッサーをご採用頂いたお客様の喜びの声で最も多いのが、加工環境に合わせたカスタマイズです。 通常決まったパターンのものを購入または設備についてきたものを使うこと多いのですが、設備に適したものなのか?。 一方、当社の製品は基本パターンとお客様の要望を組み込んだ、独自のパターンを構築します。 これまでに変更した内容としては ・材料の変更(腐食や強度を考慮し素材を選定) ・パターンの変更(精度、レート、無償テスト結果から最良パターン構築) ・粒度変更(事前テストにより現状のPADにより適した番手を選定) 当社は他社がやりたくない”かなり”面倒な手間をかけて製品を作成しております。 ※各種素材の厚み調整(キャリア、DP)や、すぐに使えるDP面状態の構築等 DP付修正キャリアの特長などについて資料をダウンロードして確認をお願いします。 テストやカスタマイズについてはお問い合わせください。

  • ウエハ加工/研磨装置

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【修正キャリア】研磨の仕上がり精度は研磨パッドの状態で決まります

研磨の基本は研磨パッドの精度の維持管理です。次のような症状が見られたら危険です。

【こんなことありませんか?】 ・研磨時間が長くなってきた ・歩留まりの低下(ワーク端面がダレてしまう) ・平坦度(平面度)が崩れる時がある。 研磨材の状態や研磨加工条件による影響もありますが、まずはPADの精度が崩れていないかを確認しましょう。 研磨PADの精度がワークへ転写されるという考え方が研磨の基本です。 研磨PADの修正では多くの場合DP付修正キャリアが使われています。 とはいえ、ただなんとなく使われていることが多く、最重要ポイントである「修正」がしっかりとできていないことが多々あります。 修正キャリアが適したものであるかについては次の事を確認してみてください。 ・PADが修正出来る仕様になっているか ・PADに対してドレス出来るDPが使われているか ・修正キャリア全体の厚みが揃っているか 修正キャリア使用後の研磨加工で ・研磨レートが復帰しない ・歩留が上がらない(戻らない) ・PAD表面状態の変化がわからない などございましたらぜひご相談ください。 長期間利用している場合、メンテナンスをしていないと修正能力が失われている場合もございます。

  • ウエハ加工/研磨装置

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