光学用位相シフター S-312
光学または干渉計アプリケーション向け高解像度オープンループZステージ
・高度な干渉計アプリケーションにおける光学位相シフト用に設計された精密ナノポジ ショニングステージ。 ・薄型ステージ ・トリポッドピエゾ駆動設計により、ティルトエラー補正付きZ動作を実現 ・カスタムモデル対応 (例: closed-loop)
- 企業:ピーアイ・ジャパン株式会社
- 価格:応相談
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光学または干渉計アプリケーション向け高解像度オープンループZステージ
・高度な干渉計アプリケーションにおける光学位相シフト用に設計された精密ナノポジ ショニングステージ。 ・薄型ステージ ・トリポッドピエゾ駆動設計により、ティルトエラー補正付きZ動作を実現 ・カスタムモデル対応 (例: closed-loop)