光学または干渉計アプリケーション向け高解像度オープンループZステージ
・高度な干渉計アプリケーションにおける光学位相シフト用に設計された精密ナノポジ ショニングステージ。 ・薄型ステージ ・トリポッドピエゾ駆動設計により、ティルトエラー補正付きZ動作を実現 ・カスタムモデル対応 (例: closed-loop)
この製品へのお問い合わせ
基本情報
・ストローク：0μm～15μm ・5つの開口サイズから選択可能：53 mm～311 mm ・オプションドライバによりチップチルトの補正も可能 その他の詳しい内容は、お問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
価格情報
詳しい内容は、お問い合わせください。
納期
用途／実績例
・干渉計 ・光学部品
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
企業情報
ドイツ本社は50年以上、日本法人として30年の精密位置決め製品のPI社が新たなソリューションをご提案 世界シェアNo.1のピエゾステージ＆アクチュエータやヘキサポッドなどの位置決め製品をご提供。 さらに、リニアモータ駆動製品と高精度エアベアリングステージのラインアップを充実させています。 位置決めにおいて、土台にも注意が必要で、弊社ではグラナイト定盤もご提供し、複合システムもご提案可能です。 世界中の生産現場や先端機器、様々な分野の最先端研究に総合的なソリューションを提供しています。是非ご覧下さい。
