【分析事例】ZnO膜表面の形状観察
広域の表面形状観察が可能
走査型白色干渉計（光干渉計）は、試料の表面形状を「高い垂直(Z)分解能(0.1nm)と広い(X-Y)測定視野(50μm～4.2mm)」で高精度に、非接触3次元測定を行うことが可能です。4.2mm×4.2mmの視野まで測定可能です。
- 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- 価格：応相談
光干渉計 - メーカー・企業と製品の一覧
光干渉計の製品一覧
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東北大学技術：次世代光干渉計：T23-038
通信量増大に伴う、光干渉計の占める面積増大に対し、面積の制約を緩和する。
光干渉計（例えばマッハ・ツェンダ干渉計）に基づく光回路は、光量子コンピュータ、光AIアクセラレータ、空間多重伝送通信等の、光を用いた次世代型情報処理技術のハードウェアとして重要視されている。従来、大規模な情報処理を行うためには大規模な光回路が必要であり、回路規模には光学テーブルやウェーハの面積の制約があった。 本発明の光干渉計を用いることで、前記の面積の制約を緩和し、光回路のさらなる規模拡張が可能となる。
- 企業：株式会社東北テクノアーチ
- 価格：応相談
