『X線光電子分光（XPS）分析』
軟X線を照射！基板や回路等の定性・半定量分析にも最適な光電子分光分析！
『X線光電子分光（XPS）分析』は、試料表面に軟X線を照射し、発生する 光電子の結合エネルギーを測定します。 試料を構成している元素と組成（定性分析・半定量分析）、元素の化学状態 （状態分析）を調べることができます。 検出される情報は、試料の極表面層（数nm）のものであり、Ar イオンスパッタ リングを組み合わせることで、深さ方向の測定を行うこともできます。 励起源が軟X線のため、導通がない試料の測定も可能です。 【適用対象】 ■金属全般 ■セラミックス ■半導体 ■薄膜 ■フィルム ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：コベルコ溶接テクノ株式会社
- 価格：応相談
