SCR3160CSN (クローズドループ制御)
●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実現
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転アブソリュートセンサを搭載 従来機と互換性（取付互換、性能互換）があり、載せ替えが可能 高剛性・アーム第3関節換算3kgf(リストブロック、チャック、ワーク含む） アームバリエーション：100mm, 130mm, 160mm, 200mm 装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの装置への固定方法を選択可能 ベルヌーイチャックを搭載可能（オプション）
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
