冷却機能付きポーラスチャック(真空チャック) - 企業1社の製品一覧

加熱・冷却機能付きポーラスチャック

吸着しながら、加熱・冷却実験が可能！！

吸着しながら加熱実験（プローブ実験、加熱耐久実験等）を行えるユニットとなります。その他、ウェーハマウンターなどにも応用が期待されています。加熱温度としては、最大で２５０℃の加熱ができ、冷却機能を持たせているため、大気冷却より急勾配での冷却を行うことも可能であります。

• 企業：株式会社吉岡精工
• 価格：50万円 ~ 100万円

• ウエハ加工/研磨装置
• ボンディング装置
• その他画像関連機器