【プレスケール活用事例】CMP研磨ヘッド
設計効率が大幅に向上!時間短縮と品質向上を実現できた事例をご紹介
プレスケールをCMP研磨ヘッドのあたり均一性確認を目的として 活用した事例をご紹介。 研磨不良の原因が不明確なまま生産を継続するため、精度が不十分であったり 不良品が頻繁に発生するなどの問題がありました。 導入後は、研磨の均一性、研磨速度の調整に有用な知見を得ることで、 時間短縮と品質向上を実現しました。 【事例概要】 ■課題 ・精度が不十分 ・不良品が頻繁に発生 ■結果 ・あたりの均一性が設計時に調整でき、設計効率が大幅に向上 ・CMP装置間のばらつきを抑えることができるようになった ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:富士フイルム株式会社 検査・測定
- 価格:応相談