設計効率が大幅に向上！時間短縮と品質向上を実現できた事例をご紹介
プレスケールをCMP研磨ヘッドのあたり均一性確認を目的として 活用した事例をご紹介。 研磨不良の原因が不明確なまま生産を継続するため、精度が不十分であったり 不良品が頻繁に発生するなどの問題がありました。 導入後は、研磨の均一性、研磨速度の調整に有用な知見を得ることで、 時間短縮と品質向上を実現しました。 【事例概要】 ■課題 ・精度が不十分 ・不良品が頻繁に発生 ■結果 ・あたりの均一性が設計時に調整でき、設計効率が大幅に向上 ・CMP装置間のばらつきを抑えることができるようになった ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【成果】 ■研磨時間短縮 ■研磨品質向上 ■機器出荷受入品質向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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