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検出感度が良好！特に微量成分の定量分析やマップ分析等に優れています
EPMA分析は、エネルギー分解能や検出感度が良く、特に微量成分の定量分析や マップ分析等に優れています。 パッケージ内のAu-1stボンディグで不良が発生した例では、腐食原因物質の 特定と分布状況を確認するため、EDX分析とEPMA分析を実施しました。 EPMAでは分解能、検出下限、P/B（ピークバックグラウンド）比が、EDXより 優れているため、微量のCl分布が明瞭に把握することができました。 【装置仕様】 ■日本電子（株）製 Jeol-8200 ■分析方式：波長分散型X線分析（WDX） ■分析可能元素：B～U ■エネルギー分解能：20eV（EDXは約130eV） ■検出限界：0.01％～ ■最?試料寸法：100×100mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
標準スペクトルと比較することで結合状態を推定！EPMAによる状態分析をご紹介
EPMAによる状態分析では、酸化物やケイ酸塩の化学結合状態（イオン価、 結晶構造、配位数）の異なりから、特性X線ピーク波長に変化（シフトや波形）が 生じることを利用し、標準スペクトルと比較することで結合状態を推定します。 2種類の銅酸化物の識別において、黒色CuOと赤色Cu2Oの色彩による識別が 困難な場合、特に電子顕微鏡が必要なミクロな対象物に対して、EPMAによる 酸化状態の把握が可能です。 また、Al表面の薄い酸化層の測定には最表面分析手法のXPSが有効ですが、 異物等の微小物や塊状物、バルク、複合材等に対して、EPMAによる酸化状態の 把握ができます。 【装置仕様】 ■日本電子（株）製 Jeol-8200 ■分析方式：波長分散型X線分析（WDX） ■分析可能元素：B～U ■エネルギー分解能：20eV（EDXは約130eV） ■検出限界：0.01％～ ■最大試料寸法：100x100mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
100×100mmサイズも対応！ステージ可動により広範囲のマッピングが可能
『EPMA分析』は、エネルギー分解能や検出感度が良く、特に 微量成分の定量分析やマップ分析等に優れています。 100×100mmサイズも対応でき、広範囲のマップが取得可能。 酸化インジウム・スズ薄膜上の異物分析例では、SEM-EDXに 比べ、エネルギー分解能・検出限界・PB比が良好でした。 また、微量元素の検出やSEM-EDXでは検出が困難な分析が可能です。 【特長】 ■エネルギー分解能や検出感度が良い ■特に微量成分の定量分析やマップ分析等に優れる ■ステージ可動により広範囲のマッピングが可能 ■100×100mmサイズも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
