100×100mmサイズも対応！ステージ可動により広範囲のマッピングが可能
『EPMA分析』は、エネルギー分解能や検出感度が良く、特に 微量成分の定量分析やマップ分析等に優れています。 100×100mmサイズも対応でき、広範囲のマップが取得可能。 酸化インジウム・スズ薄膜上の異物分析例では、SEM-EDXに 比べ、エネルギー分解能・検出限界・PB比が良好でした。 また、微量元素の検出やSEM-EDXでは検出が困難な分析が可能です。 【特長】 ■エネルギー分解能や検出感度が良い ■特に微量成分の定量分析やマップ分析等に優れる ■ステージ可動により広範囲のマッピングが可能 ■100×100mmサイズも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【装置仕様】 ■日本電子（株）製 Jeol-8200 ■分析方式：波長分散型X線分析（WDX） ■分析可能元素：B～U ■エネルギー分解能：20eV（EDXは約130eV） ■検出限界：0.01％～ ■最大試料寸法：100×100mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
アイテスは、日本アイ・ビー・エム野洲事業所の品質保証部門を母体として１９９３年に設立されました。 日本アイ・ビー・エム野洲事業所での最先端電子部品の不良解析・信頼性保証で培った技術力を基盤にして、半導体、ディスプレイ、有機EL、太陽電池、電子部品の開発・製造を支える様々な商品、サービスを国内、海外のお客様へ提供してまいりました。