半導体材料の純度試験 微量元素分析の前処理装置
スパッタリングターゲット、CMPスラリーなど、微量不純物分析の前処理には適切な酸分解が必要です
Multiwave7000 ・加圧分解チャンバーを備えたことにより、限られたスペースで、強力にしかも簡単に分解を行います。これまで溶け残ってしまっていたサンプルの分析に最適です。 ・チラー内蔵でコンパクト ・スターラー使用可能なため、安定した反応を実現 ・金属(貴金属、金属酸化物含む)以外にセラミックス、樹脂など幅広く対応 ・「この装置で初めて溶液化できた!」という声を多くいただいております
- 企業:株式会社アントンパール・ジャパン
- 価格:応相談