ガス分析用質量分析装置 ASTON Impact
大気圧からサンプリングOK！コンパクトな高感度質量分析装置
『ASTON Impact』は、ガス分析に特化したプロセスガスモニタリングに好適な高感度質量分析装置です。コストパフォーマンスと使い勝手を追求した 電子イオン化イオン源モデルです。省スペースで、大気圧領域からガスをモニタリングすることが可能です。 小型ながらm/z285 まで拡張したマスレンジに加え、 プロセスガスモニタリングの質量分析装置としては、他社を凌ぐ高感度測定に成功しました。電子イオン化イオン源、二次電子増倍管を搭載した四重極型の小型センサーと、ポンプをパッケージングした省スペース設計になっています。 【主なアプリケーション】 ■プロセスコンディションモニタ（エッチング・成膜） ■エンドポイントモニタ（エッチング・クリーニング） ■チェンバ汚染モニタ ■ガス除害システムの残留ガス分析 ■環境モニタ ■発酵プロセスモニタ ■天然ガス分析モニタ ■Lyophilization (Freeze-Drying) ※詳しくは、sales-jp@atonarp.com へお問い合わせ下さい。
- 企業：アトナープ株式会社
- 価格：応相談
