基板レジストコータ×株式会社ソフエンジニアリング - 企業1社の製品一覧

大型基板用レジストコータ

チャンバー内の気流制御はもちろん、メンテ性に優れるレジストスピンコートユニット

当社で取扱う大型基板用レジストコータのご紹介です。 大型基板に対応したレジストスピンコートユニットです。 チャンバー内の気流制御はもちろん、メンテ性に優れ、 大型の基板に対応した自動搬送機付のモデルも御提案できます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 企業：株式会社ソフエンジニアリング
• 価格：応相談

• フォトマスク