多軸位置決めステージ(xy軸) - メーカー・企業と製品の一覧

多軸位置決めステージ【MD-ZT】

高速フォーカス・高精度検出、ウエハ反りなどによる焦点誤差を解消！

多軸位置決めステージ【MD-ZT】は、Z軸、Rx軸、Ry軸、Rz軸、およびLift-Zの5軸自由度を、高さ90mmのコンパクトな構造で実現。 従来のZ軸+T軸構成をXYステージに組み合わせる際に発生する、負荷重量の増加や高さの問題を解決します。