300mmウエハー対応クリーンオーブン『SO2-12-F』
300mm(12インチ)ウェーハ対応の半導体製造向けクリーンオーブン
『SO2-12-F』は、FPD製造装置のベストセラー、枚葉式クリーンオーブンの 技術を取り入れた半導体製造向けのクリーンオーブンです。 300mm(12インチ)FOUP対応で全自動での運用が可能。50枚/1チャンバーの 処理が可能で、2チャンバーまでの増設ができます。 ポリイミドキュアなどの低温処理で高スループット、短タクトタイムを実現します。 【特長】 ■FOUP対応全自動クリーンオーブン ■最大50枚/チャンバー ■1台のロボットで2チャンバーに対応 ■1チャンバーあたり2FOUPで運用 ■2枚葉搬送ロボットによる高効率ウェーハ搬送 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：光洋サーモシステム株式会社 営業管理部
- 価格：応相談
