小型イオンビームミリング装置『IMシリーズ』
豊富なチャック方式を選択可能な小型イオンミリング装置のご紹介です
『IMシリーズ』は、研究開発および少量生産に適した 小型イオンビームミリング装置です。 コンパクトなフットプリント。 終点検知システムを装備しています（ロードロック有にオプション適用）。 お客様の用途に合わせたサンプル処理を初回無償で提供します。 ウェーハサイズ、処理枚数などについては当社までお問い合わせください。 【特長】 ■エッチング高レートと低レート制御が可能 ■自転＋傾斜するウェーハホルダー ■豊富なチャック方式を選択可能 ■コンパクトなフットプリント ■終点検知システム装備（ロードロック有にオプション適用） ■フィラメントレスμ波ニュートラライザ（オプション） ※詳しくは外部リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社日立ハイテク
- 価格：応相談
