小型チラー - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

【技術記事】チラーの仕組みと冷却方式の違い

装置の冷却・工場内の製造ラインにも！安定稼働を支えるチラーの仕組みを簡単解説！

チラーは、水や冷却液の温度を管理しながら循環させ、半導体製造装置や工作機械、分析装置などの発熱部を一定温度に保つ装置です。 ヒーターが内蔵されたタイプの製品もあり、用途に応じて冷却だけでなく、加熱（温調）にも利用されます。 仕組みはシンプルで、装置内部で冷却液を循環させて対象の熱を奪いますが、熱を吸い取った冷却液自体の温度は上昇します。そのため、再び循環水として利用するには温度を下げる必要があります。 循環水を冷却する方式には、大きく分けて2つあります。 空冷式：チラーユニット内部にファンがあり、空気と熱交換をすることで循環水を冷却。 水冷式：循環水を冷却するためにさらに水を引き、その冷却水との熱交換で冷却。 製品の紹介については、下記のリンク先をご覧ください。