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【技術記事】チラーの仕組みと冷却方式の違い

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最終更新日:2026年07月07日

日本ミック株式会社
日本ミック株式会社
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装置の冷却・工場内の製造ラインにも!安定稼働を支えるチラーの仕組みを簡単解説!

チラーは、水や冷却液の温度を管理しながら循環させ、半導体製造装置や工作機械、分析装置などの発熱部を一定温度に保つ装置です。 ヒーターが内蔵されたタイプの製品もあり、用途に応じて冷却だけでなく、加熱(温調)にも利用されます。 仕組みはシンプルで、装置内部で冷却液を循環させて対象の熱を奪いますが、熱を吸い取った冷却液自体の温度は上昇します。そのため、再び循環水として利用するには温度を下げる必要があります。 循環水を冷却する方式には、大きく分けて2つあります。 空冷式:チラーユニット内部にファンがあり、空気と熱交換をすることで循環水を冷却。 水冷式:循環水を冷却するためにさらに水を引き、その冷却水との熱交換で冷却。 製品の紹介については、下記のリンク先をご覧ください。

    チラーその他 工場設備
チラー解説.png

【技術記事】チラーの仕組みと冷却方式の違い

チラー解説.png
チラー解説.png
  • 製品の紹介は『こちら』
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/nippon-mik/product/

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基本情報

※当社では、ペルチェ式・コンプレッサ式の2種の小型チラーを取り扱っております。 (ペルチェ式は149W~400W、コンプレッサ式は1250W~4900Wまで対応) ※個別の部品以外にも総合的な熱対策ソリューションのご提案が可能ですので、お気軽にお問い合わせください。

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用途/実績例

★当社は、Tark Thermal Solutions社(TTS)の国内正規代理店を務めております★ 医療機器や分析機器の他、工作機械等の製造プロセスにおいても有用なチラーを紹介しております。 詳しくは、PDF資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。

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『Tark Thermal Solutions 循環式チラー』

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