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エア駆動式のため防火・防爆対策が必要な箇所でも使用可能な高圧ポンプ
『SSBL-XXシリーズ』は、純水、IPA、NMPなどをウエハ等に高圧噴射して 膜を除去するリフトオフ装置等に適したポンプです。 エア駆動式のため防火・防爆対策が必要な箇所でも使用可能。 昇圧部シール材としてフッ素系高分子ポリエチレン（FKM仕様）や カルレッツ（KLZ仕様）を採用しており、2000年から約20年におよぶ 市場供給を誇ります。 【特長】 ■コンパクト設計で組込みに好適 ■操作はエア供給圧を可変することで吐出圧を制御可能 ■エア圧力0.5MPaにて最高17.6MPaまで昇圧可能（SSBL-37.5A） ■昇圧部シール材としてフッ素系高分子ポリエチレン（FKM仕様）や カルレッツ（KLZ仕様）を採用 ■2000年から約25年におよぶ市場供給 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。 発売以来8年間トラブル知らずで、安心・安全・長寿命。
『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コンパクト設計で組込に好適 ■操作はエア供給圧を可変することで吐出圧を制御可能 ■電気を使用しないため、防火・防爆地区に適応 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
精密工学会《ものづくり賞》受賞致しました。 少量の水で高圧水を供給。常用６MPaを実現！定量超高圧型、少量水の高圧供給用。
『AGM1001』は、少量の水で高圧水を供給、常用６MPaを実現したコンパクトサイズの超小型高圧ポンプです。 【特徴】 ○L258mm×W221mm×H141mmのコンパクトサイズ ○100V50Wで少量の清水にて高圧水が得られる常用6MPa ○小型ミニサイズ小スペースで軽量6.75Kg ○ポンプ回転が変更出来るパラメ一タ一装備 ○スイッチ1つで設定回転から高速回転まで2速運転が可能 ○Hz（へルツ）に左右されないブラシレスモーター採用 ○無給油(オイルレス) ポンプ ○プランジャ一にセラミツクス採用 ○減速比1/5と1/9の2機種から選択できる ○脈動防止用アキユムレ一タ一標準装備 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
