電気を使用しないエア駆動式。防火・防爆地区に適応します。
『FSBL-50』は純水、IPA、NMPなどの流体を高圧に送り出して、 ウエハーなどの洗浄対象に噴射して膜を除去する目的の装置に組み込まれるポンプです。 接液部の材質はSUS316、逆止弁は新開発のポペット弁により長寿命で金属粉の発生がありません。 また、昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用、NMPなど有機溶剤系仕様としてカルレッツも対応可です。 【特長】 ■コンパクト設計で組込に好適 ■操作はエア供給圧を可変することで吐出圧を制御可能 ■電気を使用しないため、防火・防爆地区に適応 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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基本情報
【仕様】 〇サイズ ・FSBL：W250×H191×D413 ○吐出圧力 ・FSBL-50：2.5～25MPa ○吐出流量 ・FSBL-50：1.68L ○駆動エア圧：0.05~0.5MPa ○エア消費量：約670L (ポンプストローク数 60SPM時) ○接液シール ・純水､IPA：FKM ・NMP：カルレッツ
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用途／実績例
【用途】 ■半導体洗浄装置（ジェット洗浄） ■スクラバー装置 ■リフトオフ装置 ■研磨パッドのドレッシング など 【実績例】 2011年より約15年におよぶ市場供給
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| FSBL-50-FKM | |
| FSBL-50-KLZ |
カタログ（1）
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企業情報
「きっと、未来にいるものを。」をテーマとして、半導体製造装置周辺機器の 設計、製作を主体にお客様のニーズに対応した製品開発を行っています。 私たちの保有する技術がさまざまな分野で製品化され、お客様に役立てればと 思っております。研究開発や試作などお客様のアイデアをもとに製品化することに 社員全員が情熱を持って取り組む会社です。 心より皆様方のお問い合わせをお待ちしております。