帯電防止機能性コーティング - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

ウエハ搬送ハンド用帯電防止コーティング｜静電気トラブルを防止

【ウエハの静電気・微粒子付着を抑制】メタルタッチを排除！帯電防止・傷つき防止コーティングで、搬送中のスクラッチや静電破壊を防ぐ。

半導体前工程・後工程における自動搬送システム（EFEMや真空搬送ロボットなど）の先端に取り付けられる、金属製またはセラミック製のウエハ搬送ハンド（エンドエフェクタ、ブレード、アーム）向け帯電防止機能付き機能性コーティングの技術事例です。 シリコンウエハを高速かつ安全に搬送するため、帯電防止特性と傷つき防止機能を両立させています。 【導入による主な改善効果】 ● 静電気によるパーティクル吸着防止 導電性・抗静電性を付与し、搬送時の摩擦帯電を抑えて速やかに除電。クリーンルーム内の微小コンタミがウエハへ吸着するのを防止し、歩留まり向上に貢献します。 ● ウエハのキズ・チッピング防止 基材とのメタルタッチを完全に排除。被膜の適度な滑り性とクッション性により、ピック＆プレース時の衝撃をやわらげ、ウエハ裏面・エッジの微細なカケ（チッピング）を防ぎます。 ● 静電破壊（ESD）リスクの低減 帯電を防止することで回路パターンの静電破壊を防ぐとともに、ハンドへの張り付きを解消して安定搬送をサポートします。