恒温・均熱ステージ PJ100
精密な温度制御、温度のバラツキが許されないプロセスに!!サイズなどカスタマイズ可能。温度設定15-45℃まで。
サイズ、取付インターフェース、メカニカル形状など、カスタマイズ可能です。半導体プロセス、ナノテクプロセスなどに。◎超精密温度制御ステージ(±1℃、±0.5℃)◎真空吸着チャック機能◎高精度ステージ(平坦度)◎温度設定範囲15-40℃。
- 企業:株式会社MSAファクトリー
- 価格:応相談
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精密な温度制御、温度のバラツキが許されないプロセスに!!サイズなどカスタマイズ可能。温度設定15-45℃まで。
サイズ、取付インターフェース、メカニカル形状など、カスタマイズ可能です。半導体プロセス、ナノテクプロセスなどに。◎超精密温度制御ステージ(±1℃、±0.5℃)◎真空吸着チャック機能◎高精度ステージ(平坦度)◎温度設定範囲15-40℃。