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成膜イオンビームスパッタ装置(成膜) - 企業1社の製品一覧

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光学フィルター用多層膜成膜イオンビームスパッタ装置

DWDM成膜用イオンビームスパッタ装置です。

光学分野用イオンビームスパッタ装置です。 スパッタ:16cm RF Ion Source アシスト:16cm RF Ion Source ターゲット:2面 揺動機能 ステージ:自転 膜厚制御:透過型波長可変レーザー膜厚制御 主排気:クライオポンプ 又は TMP+SUPCOLD 詳しくはお問い合わせ願います。

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