リニア有機材料蒸着器『LOE』
デリケートな有機材料の処理に最適化した熱設計！蒸発物および基板への熱影響を抑制
『LOE』は、密閉したルツボから熱により有機材料を蒸発させる コンポーネントです。 デリケートな有機材料の処理に最適化した熱設計が、蒸発物および基板への 熱影響を最小限に抑制。その蒸気は、基板へ通じる加熱パイプを通って供給され、 リニアノズルアレイから基板に放出されます。 有機蒸気に接触するすべての部品、特にルツボとノズルパイプは、有機 EL材料に対して全く不活性なセラミックでできています。ルツボとノズル パイプは、有機材料の凝縮点を超える温度まで加熱されます。 【特長】 ■小分子量有機材料の蒸着 ■固体または液体の前駆体の蒸着 ■シングル蒸着、共蒸着、トリプル蒸着 ■垂直または水平に運転 ■基板幅最大1200mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- Company：フォンアルデンヌジャパン株式会社
- Price：応相談
