デリケートな有機材料の処理に最適化した熱設計！蒸発物および基板への熱影響を抑制
『LOE』は、密閉したルツボから熱により有機材料を蒸発させる コンポーネントです。 デリケートな有機材料の処理に最適化した熱設計が、蒸発物および基板への 熱影響を最小限に抑制。その蒸気は、基板へ通じる加熱パイプを通って供給され、 リニアノズルアレイから基板に放出されます。 有機蒸気に接触するすべての部品、特にルツボとノズルパイプは、有機 EL材料に対して全く不活性なセラミックでできています。ルツボとノズル パイプは、有機材料の凝縮点を超える温度まで加熱されます。 【特長】 ■小分子量有機材料の蒸着 ■固体または液体の前駆体の蒸着 ■シングル蒸着、共蒸着、トリプル蒸着 ■垂直または水平に運転 ■基板幅最大1200mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■LOEリニア有機ソースにより、有機デバイスのインライン処理を高スループットで実行可能 ■デリケートな有機材料の処理に最適化した熱設計が、蒸発物および基板への熱影響を 最小限に抑制 ■均一性とレート安定性の向上により有機層スタック最適化の精度が向上し、 高効率の有機ELやOPVデバイスを製造可能 ■材料の利用率が高く、高価な有機デバイス製造コストを許容範囲内に抑制できる ■蒸気経路内は100%不活性材料を使用し ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【用途】 ■密閉したルツボから熱により有機材料を蒸発させるコンポーネント ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
当社は、東京にあり、ここを中核としてVON ARDENNEの販売活動、 戦略事業展開のサポートを行っております。 また、当社のサービスエンジニアが日本顧客の装置をサポート。 これまで建材ガラス製膜システム、ロール・ツー・ロールウェブコーター、 太陽光電池スパッタ装置、電子ビームシステムを設置してまいりました。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。