枚葉式自動洗浄装置
ニーズに合わせた好適なカスタム装置を提供！プロセス最適化に向けた設計が可能
本装置は、φ150mm（6 ) ・φ200mm（8 ）対応の SiCウェーハ枚葉式洗浄装置です。 ウェーハは、25枚入カセットでLD側に作業者がセットします。 洗浄後のウェーハは、ULD側にセットされたクリーンなカセットに収納されます。 プロセス：LD（水中）→ 両面ブラシスクラブ → 両面ブラシスクラブ → 超音波シャワー洗浄 → スピン乾燥 → ULD（空中）となります。
- 企業：PHT株式会社
- 価格：応相談
