検査工程向けコーティング - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

半導体製造装置 検査工程向けコーティング

ウエハーの傷・固着・金属粉発生を防止し、検査工程のクリーン環境を維持

半導体製造の検査工程では、ウエハーの傷つき、吸着ステージへの固着、摺動部品からの金属粉発生が課題となります。 フッ素樹脂コーティングは、吸着ステージへの施工によりウエハーの物理的保護膜として傷を防止し、 非粘着性によりウエハーの固着を防ぎ、効率的な検査プロセスに貢献します。 また、摺動部品への施工では金属粉の発生を抑え、クリーンな検査環境を維持します。 吉田SKTは数百種類の表面処理技術から最適な提案を行うカスタマイズのスペシャリストです。 詳しくは資料をダウンロードするかお問い合わせください。