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搬送ハンドの傷・欠け防止から躯体の腐食対策まで。ウエハー搬送の信頼性を高めるコーティング
半導体製造において、ウエハー搬送装置は極めて重要な役割を担っています。 搬送ハンドの表面にフッ素樹脂コーティングを施すことで、ウエハーの欠けや傷つきを防止し、歩留まり向上に貢献します。 また、薬品雰囲気にさらされる躯体や金属ねじにも施工することで、錆・腐食の発生を抑え、装置の長寿命化と安定稼働を実現します。 吉田SKTは、テフロン(TM)コーティングのパイオニアとして2、000社以上の実績を持ち、 搬送パーツの形状や使用環境に合わせた最適なグレード選定とカスタマイズ提案が可能です。 数百種類の表面処理技術から、お客様の課題に最適な一品をご提案いたします。 詳しくは資料をダウンロードしてご確認いただくかお問い合わせください。
ウエハーの傷・固着・金属粉発生を防止し、検査工程のクリーン環境を維持
半導体製造の検査工程では、ウエハーの傷つき、吸着ステージへの固着、摺動部品からの金属粉発生が課題となります。 フッ素樹脂コーティングは、吸着ステージへの施工によりウエハーの物理的保護膜として傷を防止し、 非粘着性によりウエハーの固着を防ぎ、効率的な検査プロセスに貢献します。 また、摺動部品への施工では金属粉の発生を抑え、クリーンな検査環境を維持します。 吉田SKTは数百種類の表面処理技術から最適な提案を行うカスタマイズのスペシャリストです。 詳しくは資料をダウンロードするかお問い合わせください。
製品保護・寿命の向上を図ることが可能！耐薬性の高いコーティング膜もご用意
排ガスや海水などの腐食環境下、アルコールやオートクレープ、 アルカリ性などの脱脂滅菌処理、様々な環境下で使用される 金属・樹脂は極端に劣化し強度を維持できなくなる事が多々あります。 これらの過酷な環境下で使用される部品への耐腐食・耐薬品コーティングを 施すことで、製品保護・寿命の向上を図ることが可能です。 特にフッ素樹脂などは撥水性の高さから、様々な状況から製品を 保護することができ、耐薬性の高いコーティング膜もあり、医療用途でも 使用されます。 【耐食コーティング 特長】 ■腐食・錆び付きを防ぐ目的で使用可能 ■プラスアルファで潤滑性や絶縁性を施すといった 複数用途で使用されることが多い ■様々な状況から製品を保護することが可能 ■耐薬性の高いコーティング膜もあり、 医療用途でも使用されている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
