超臨界流体洗浄・乾燥装置
微細構造物を破壊せずに洗浄・乾燥を行うことが可能
従来の「液化二酸化炭素で置換する工程」を「超臨界二酸化炭素で置換する工程」に置き換えたことにより… ●ポンプにより圧送される液化二酸化炭素を予備加熱することで粘性の低い超臨界流体としてチャンバーに導入するため、ナノレベルの微細構造物に対してもダメージの少ない洗浄・乾燥が行えます。 ●チャンバーの冷却、加温という温度サイクルがなく一定温度での洗浄・乾燥が行えるめ、処理時間の短縮が可能です。 ●ヒーター・自動圧力調整バルブ・ポンプをプログラム制御することで、閉鎖系にすることなく超臨界流体によるリンス液の置換から大気圧までの減圧が効率よく行えます。
- 企業：株式会社レクザム 香川工場
- 価格：応相談
