減圧乾燥装置「VD-400」
タッチパネル制御によりレシピ操作ができる減圧乾燥装置です
「VD-400」は減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を 減圧乾燥する装置です。 【特長】 ・タッチパネル制御による操作の簡易化 ・レシピ操作有り（操作手順の再現化が可能） ・２段階排気により風紋や発泡を抑えた乾燥の実施 ・バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能 【主な仕様】 ○チャンバー ：外寸法 400mm x 400mm 高さ103mm（蓋閉時） 内寸法 350mm x 350mm 高さ 30mm ○真空：到達真空度 約1Pa以下（無負荷時） ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社イーエッチシー
- 価格：応相談
