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半導体や太陽電池の生産・研究開発設備！独自の高温処理技術による高温熱処理炉
大村技研では、独自の高温処理技術による高温熱処理炉を生産設備および 研究開発向けに提供します。 主要製作装置としては、拡散炉、エピタキシャル装置、CVD装置、 エッチング装置、半導体製造設置用コントローラーなどがあります。 また、小口径基板に適した縦型電気炉や、太陽電池製造用横型拡散炉、 横型CVD装置・LC6400シリーズなどもラインアップされています。 【特長】 ■生産設備・研究開発向けの高温処理炉 ■半導体製造や太陽電池製造などに好適 ■多様なラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ポテンシャル窒化をコントロールする制御技術！金属処理レシピや炉体システムなど総合的なソリューションがご提供可能な熱処理装置！
ナイトレックス・メタルの熱処理装置「総合カタログ」は、ターンキーシステムやバッチ炉、プロセスコントロールシステム、プロセスコントロールソフトウェアなどご紹介しています。 ポテンシャル窒化をコントロールできる制御技術を保有しております。 【掲載内容】 ■ターンキーシステムとは ■規格品およびオーダーメイドの炉体 ■プロセスはパラメーター設定後、全自動によるオペレーション ■窒化・軟窒化のポテンシャル制御技術NITREG（R）／NITREG(R)-C／ONC（R）／NITREG(R)-S／NANO-S TM ■窒化及び軟窒化の典型的なアプリケーション ■熱処理専業メーカー向けP-シリーズシステム ■ナイトレックスのシステムの特徴 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
