還流ファン方式を採用!炉内の温度分布を均一に保ちます
『TE-9815』は、ハードディスクアルミニウム基板製造ラインの 専用カセット収納サブストレートエージング自動化装置です。 炉内の温度分布を均一にするため、還流ファン方式を採用。 炉内、コンベア部はワークに衝撃振動を与えることなく搬送します。 【特長】 ■クリーンルームクラス10,000対応 ■還流ファン方式を採用 ■ワークに衝撃振動を与えず搬送が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【仕様】 ■適用ワーク:3.5インチサブストレート ■サイクルタイム:18~22sec/カセット ■電源:AC400V、AC200V ■空圧源:0.5MPa以上 ■焼鈍温度:200℃~300℃ ■クリーンルームクラス:10,000クラス ■本体寸法:6456mm(W)×2990mm(D)×2283mm(H) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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