TSVCR3060N（2インチウェーハ搬送）
真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比真空ロボット：フットプリント65%（φ95mm）, 容積比75%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
真空トランスファーロボット(半導体+搬送) - メーカー・企業と製品の一覧
真空トランスファーロボットの製品一覧
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