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無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心してご利用可能！
『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。 油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。 【特長】 ■完全オイルフリー ■超高真空、極超真空 ■無人運転 ■不活性ガスの排気(ノーブルポンプ) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
排気速度1L/sあたりの価格はイオンポンプに比べて約1/2～1/3！水もれの心配はありません
『コンビネーションポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型 イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの 有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、 大排気速度を安い価格で得られます。 また、油など有機物は全く使用しておりませんので、油汚染のない 超高真空が得られ、運転操作が簡単で停電の場合にも無人運転ができます。 【特長】 ■大排気速度 ■軽量でコンパクト ■安全設計 ■清浄な超高真空 ■液体窒素が不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低コストの1段式油回転ポンプでターボ分子の粗引きができます
この油回転真空ポンプは排気フィルタ、オイル回収システム、逆止弁、ガスバラストを内蔵しています。 運転音が静かなことも特徴です。
構造が堅牢で保守が容易！現在も広く使用されている真空ポンプ
当社では、構造が堅牢で取扱いが容易な『真空ポンプ』を取扱って おります。 スライド弁式一段の真空ポンプ「HI型」をはじめ、二段の「HT型」や プレート弁式の「FV型」をラインアップ。 HI2～8(HT-2～8)の機種については、エキセントリックロッドまわりが 全てオイルフリーの構造となっていますので、運転費が軽減できます。 【特長】 ■構造が堅牢で保守が容易 ■現地メンテナンス対応可能 ■メンテナンス時間が少ない ■稼働停止による減産コスト削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
過酷な運転条件でも耐久性、多用途の真空アプリケーションにご使用いただけます。
・プロセスポンプ ・耐食仕様 基本流量: 33 l/min ～ 39 l/min (ダイアフラム材質により異なります) 到達真空度: < 100 mbar abs ～ ポンプヘッド材質: アルミニウム / ステンレススチール ダイアフラム材質: CR / FPM (FKM) / PTFE-coated 日本電圧 AC単相 100V 50/60Hz ご用意できます。
過酷な運転条件でも耐久性、多用途の真空アプリケーションにご使用いただけます。
・プロセスポンプ ・耐食仕様 基本流量: 18 l/min ～ 22 l/min (ダイアフラム材質により異なります) 到達真空度: < 20 mbar abs ～ ポンプヘッド材質: アルミニウム / ステンレススチール ダイアフラム材質: CR / FPM (FKM) / PTFE-coated 日本電圧 AC単相 100V 50/60Hz ご用意できます。
