積層膜エッチング液『KSMFシリーズ』
Ti/Al/Ti積層膜のウェットエッチングが可能なAl積層膜エッチング液
Al積層膜を一液で処理可能なエッチング液です。 これまでウェットエッチングが困難だったTi/Al/Ti積層膜にも適用が可能です。 【特徴】 ■Ti/Al/Ti積層膜やMo/Al/Mo積層膜を一括でエッチング可能 ■KSMF-100はMo/Al/Mo積層膜の他、Mo単膜やAl単膜の低テーパーエッチング液としても使用可能 ■KSMF-260はTi/Al/Ti積層膜のテーパーエッチングが可能 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：関東化学株式会社 電子材料事業本部
- 価格：応相談
