半導体ウエハ端面 ミクロ検査
回転させたウエハ端面(エッジ)をラインセンサで撮影し、数ミクロンオーダーの微細な欠陥を検出するシステム。
回転させたウエハ端面(エッジ)をラインセンサで撮影し、数ミクロンオーダーの微細な欠陥を検出するシステムです。１ＧＢを超えるような巨大な画像にも対応します。
- Company：株式会社横浜総合研究所 鎌倉事業所
- Price：応相談
端面ミクロ検査 - List of Manufacturers, Suppliers, Companies and Products
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