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超薄型、高剛性、高精度を実現
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CHX（小型アライメントステージ）は、超薄型でトップテーブルの小型化を実現、高剛性・高精度の特長を持ちます。光学機器、医療機器、バイオ事業、太陽電池、光学レンズの貼り合わせ装置、ブローブ検査装置、チップデバイス露光・印刷、散布装置、微細レーザ加工機、チップマウンター用アライメントなど、高精度の求められる様々な分野の装置に使用されています。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、仕様図・寸法表など、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。
画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ（特許取得済）
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CMX（アライメントステージ）は、トップテーブルサイズ1500m×1500mの大型ステージを標準化することで大型ワークに対応、サドルレスの軽薄機構により超薄型・軽量化も実現しました。 さらに中抜き構造であるため、光学式検査装置や導通テスタに採用されております。その他、FPD製造・検査装置、半導体製造装置・検査装置、スクリーン印刷機・マスク検査装置、プリント基板製造装置・検査装置、太陽電池製造装置・検査装置、電子デバイス製造装置・検査装置など、様々な分野の装置に使用されております。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、２DCADなど、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。
クロスローラ精密ステージ 、台湾製、高精度、低価格
軽量のアルミ合金を採用して、ガイド部にV溝レールとクロスローラ直線伝動して、高精度、耐荷重ステージを実現します
