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超薄型、高剛性、高精度を実現
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CHX（小型アライメントステージ）は、超薄型でトップテーブルの小型化を実現、高剛性・高精度の特長を持ちます。光学機器、医療機器、バイオ事業、太陽電池、光学レンズの貼り合わせ装置、ブローブ検査装置、チップデバイス露光・印刷、散布装置、微細レーザ加工機、チップマウンター用アライメントなど、高精度の求められる様々な分野の装置に使用されています。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、仕様図・寸法表など、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。
画期的なモジュール構造を採用した超薄形ステージ（特許取得済）
THKの電動アクチュエータ 精密ステージシリーズ CMX（アライメントステージ）は、トップテーブルサイズ1500m×1500mの大型ステージを標準化することで大型ワークに対応、サドルレスの軽薄機構により超薄型・軽量化も実現しました。 さらに中抜き構造であるため、光学式検査装置や導通テスタに採用されております。その他、FPD製造・検査装置、半導体製造装置・検査装置、スクリーン印刷機・マスク検査装置、プリント基板製造装置・検査装置、太陽電池製造装置・検査装置、電子デバイス製造装置・検査装置など、様々な分野の装置に使用されております。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、仕様図・寸法表、２DCADなど、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。
コアレスロッドタイプのリニアモータアクチュエータ
コアレス構造のためフォーサ（可動子）とマグネットロッド（固定子）の間に吸引力が発生しません。また、 マグネットロッドの全周にコイルが配置される構造のため、磁束の利用効率が高くなります。
高精度・なめらかな動きを実現
"THKの電動アクチュエータ リニアモータシリーズ CLMは、高い繰り返し位置決め制御、コアレスモータによるなめらかな駆動です。高精度で高分解能の特長により、プリンタのヘッド部に採用されています。低速時でもなめらかな動作をすることで、高精密な印字が可能になりました。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、２D・３DCAD、選定資料など、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。"
コンパクトで高い剛性を実現 高精度位置決め、低速度リップルに対応
"THKの電動アクチュエータ リニアモータシリーズ KLM（コア付フラットタイプ）は、コンパクトで高剛性を実現し、スムーズな動きにより高精度位置決め、リニアモータによる高速・高加減速が可能です。タクトが厳しくコンパクトにしたいものの、推力が必要なウエハー検査装置の上部に採用されています。 なお関連リンク先では、より、詳細な製品説明をはじめ、製品カタログ、取扱説明書、２D CAD、選定資料、仕様・寸法表など、技術情報を多数準備しております。是非、こちらもご覧ください。"
