紫外線酸化装置『FOVシリーズ』
真空紫外線を効率よく照射し、水中の有機物を酸化分解!ppbオーダーのTOCを低減
半導体産業で使用される水は、ますます高純度化され、超純水中の有機物 (TOC) 濃度に対する要求値も厳しくなっています。 『FOVシリーズ』は高出力低圧水銀ランプから発生する真空紫外線 (185nm) を効率よく照射し、水中の有機物を酸化分解。ppbオーダーのTOCを低減 させるのに適しています。 また、縦型設計ですので設置スペースが限られた場所でもご使用いただけます。 【仕様(一部)】 ■入力電圧:AC100V-AC200V(50/60Hz)から選択可能 ■警報出力:ランプ切無電圧接点標準装備 ■制御盤材質:SS ■制御盤塗料色:マンセル 2.5Y 9/1 ■シリンダ材質:SUS316 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業:フナテック株式会社 本社
- 価格:応相談