耐食PFAコート - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

CMP装置の標準仕様に採用！過酷環境に耐える高耐食PFAコート

【装置信頼性の向上】スラリー固着防止と薬液腐食対策を両立。装置メーカー様で標準パーツに採用！試作・テスト施工を承ります。

先端半導体製造装置の設計・開発において、薬液腐食への対策とクリーンネスの維持は、装置の信頼性を左右する最重要設計課題です。 ■CMP工程におけるスラリー固着と耐食性の課題 ウエハと至近距離で対向するCMP（Chemical Mechanical Polishing、化学機械研磨）装置のヘッドパーツ等は、酸・アルカリを含むスラリーの飛散と激しい腐食ストレスに常時さらされるため、単なる撥水処理では長期的な品質維持が困難でした。 ■フッ素樹脂 PFAコーティング ほぼ全ての化学薬品に反応しない化学的安定性を持ち、金属基材の腐食による不純物溶出を完全に防ぎます。また、強靭な密着性と均一な塗膜形成技術により、複雑形状の部品でも長寿命な防食・非粘着性能を発揮。その高い信頼性が評価され、装置メーカー様の「公式標準仕様パーツ」として正式採用された実績を誇ります。ヘッドパーツから周辺カバー、流路部品まで、装置全体の信頼性向上と差別化を実現します。