【装置信頼性の向上】スラリー固着防止と薬液腐食対策を両立。装置メーカー様で標準パーツに採用！試作・テスト施工を承ります。
先端半導体製造装置の設計・開発において、薬液腐食への対策とクリーンネスの維持は、装置の信頼性を左右する最重要設計課題です。 ■CMP工程におけるスラリー固着と耐食性の課題 ウエハと至近距離で対向するCMP（Chemical Mechanical Polishing、化学機械研磨）装置のヘッドパーツ等は、酸・アルカリを含むスラリーの飛散と激しい腐食ストレスに常時さらされるため、単なる撥水処理では長期的な品質維持が困難でした。 ■フッ素樹脂 PFAコーティング ほぼ全ての化学薬品に反応しない化学的安定性を持ち、金属基材の腐食による不純物溶出を完全に防ぎます。また、強靭な密着性と均一な塗膜形成技術により、複雑形状の部品でも長寿命な防食・非粘着性能を発揮。その高い信頼性が評価され、装置メーカー様の「公式標準仕様パーツ」として正式採用された実績を誇ります。ヘッドパーツから周辺カバー、流路部品まで、装置全体の信頼性向上と差別化を実現します。
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基本情報
【製品仕様】 ■ 採用樹脂：PFA（パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体） ■ 主要機能：耐薬品性（耐食性）、非粘着性、高純度性、低発塵性 【技術的特長】 ■ 最適な塗膜設計 薬品種・動作温度・洗浄条件に応じたPFAグレード最適化 ■ 複雑形状対応 流路内面や微細穴、曲面パーツへピンホールのない被膜を形成 ■ 標準パーツ品質 厳しいクリーン基準および密着強度基準をクリア 【対応サービス】 ■ 図面段階からのコーティング仕様ご提案 ■ 実機検証用の試作施工（テストコーティング）および評価支援
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■ 半導体・電子部品製造装置（CMP、ウエハ洗浄、エッチング、露光等） ■ 薬液ノズル、ヘッドパーツ、流路ブロック、チャンバー内壁、飛散防止カバー 【採用実績・導入効果】 ■ 課題：CMP装置開発において、スラリー固着防止（キズ対策）と薬液腐食対策（コンタミ防止）を高度に両立する部品表面処理が求められていた。 ■ 導入後：実機評価にてスラリー固着激減、耐薬品性、清掃性の全てで合格基準を獲得。PFAコーティング処理部品が装置の「公式標準パーツ」に採用決定。 ■ 効果：装置自体の品質・耐久性が向上し、周辺カバーや流路部品など装置内他パーツへも採用が水平展開されました。
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企業情報
■機能性コーティングの受託加工メーカー 各種産業部品へのフッ素樹脂やPEEKコーティングなどの機能性コーティングの加工を行う専門メーカーです。 私たちは、ただ指示通りに塗るだけの加工業者ではありません。製造現場の「くっつく！」「滑らない！」「すぐ摩耗する！」といった頑固な表面のお悩みを、一緒に頭を悩ませて解決する一番身近な技術パートナーでありたいと考えています。 ■部品の課題を独自の表面処理で解決 非粘着性、耐食性、耐熱性、すべり性、帯電防止など、多様な機能をプラス。製造装置の長寿命化や、現場のメンテナンスの手間を減らすお手伝いをします。 ■関東エリアを中心に全国対応！ 埼玉県春日部市の工場を拠点に、関東全域（東京、神奈川、千葉、茨城、栃木、群馬）から全国までスピーディに対応。 ■表面のお悩みは日建塗装工業までご相談ください！ ・今のコーティングに満足していない ・環境規制（PFAS）に合う処理を探している など、図面段階の「こんなことできる？」から試作、量産まで一貫対応いたします。表面のガッカリをスッキリに変えるため、ぜひお気軽にご相談ください！
