【フォトニックデバイス向け】自動光学検査装置
ウェーハおよびチップレベルでのデバイス検査を自動化します!
当社で提供している「自動光学検査装置(AOI)」について ご紹介いたします。 シリコンフォトニクスやフォトニック集積回路(PIC)デバイスの欠陥を 高精度に検出するシステムです。 機械学習アルゴリズムを活用し、ウェーハおよびチップレベルでの フォトニックデバイス検査を自動化します。 【特長】 ■高精度検査 ■自動検査機能 ■柔軟な検査対応 ■多様な観察モード ■検出可能欠陥 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業:株式会社日本レーザー
- 価格:応相談