自動搬送露光装置
搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用可能!
ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、ソフトコンタクト露光で微細なマスクパターンを転写する露光機です。
- 企業:ウシオライティング株式会社
- 価格:応相談
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搬送系はローラコンベア方式でインラインとして利用可能!
ガラス基板などのフォトリソ工程において、ガラスマスクとワークをアライメントし、ソフトコンタクト露光で微細なマスクパターンを転写する露光機です。