荷重加速度センサ - メーカー・企業と業務用製品

半導体製造の品質向上に貢献。微小荷重・高速現象を捉えるセンサ資料

半導体製造の微小荷重を正確に可視化。ボンディング等の品質改善と歩留まり向上に貢献する、水晶圧電式センサの技術資料を今すぐDL可能

水晶の圧電効果を応用した力センサは、極めて高い固有振動数による高速応答性と、微小な力変化を捉える高分解能を兼ね備えています。この特性は、緻密な制御が求められる半導体製造プロセスの課題解決に適しています。ダイボンディングやプローブ検査などの各工程において、チップ割れを防ぐための「微小荷重の正確な制御」と、高速タクトに追従する「瞬時のピーク検出」を両立。製造フロー全体の品質可視化と歩留まり向上に大きく貢献します。また、水晶ならではの高剛性により変位は極小で、設備への組み込みが容易かつ堅牢です。長期間安定して測定できるため、止められない量産ラインの常時監視にも適しています。製品群には、現場で予圧を調整する「ロードワッシャ型」や、予圧管理済みの「フォースリンク型」などを展開しており、環境に合わせた方式を選択可能。これらの活用事例や詳細を網羅した資料をご用意しました。ぜひダウンロードしてご活用ください。詳細はお気軽にお問い合わせください。