半導体製造の微小荷重を正確に可視化。ボンディング等の品質改善と歩留まり向上に貢献する、水晶圧電式センサの技術資料を今すぐDL可能
水晶の圧電効果を応用した力センサは、極めて高い固有振動数による高速応答性と、微小な力変化を捉える高分解能を兼ね備えています。この特性は、緻密な制御が求められる半導体製造プロセスの課題解決に適しています。 ダイボンディングやプローブ検査などの各工程において、 チップ割れを防ぐための「微小荷重の正確な制御」と、高速タクトに追従する「瞬時のピーク検出」を両立。 製造フロー全体の品質可視化と歩留まり向上に大きく貢献します。 また、水晶ならではの高剛性により変位は極小で、設備への組み込みが容易かつ堅牢です。長期間安定して測定できるため、止められない量産ラインの常時監視にも適しています。 製品群には、現場で予圧を調整する「ロードワッシャ型」や、予圧管理済みの「フォースリンク型」などを展開しており、環境に合わせた方式を選択可能。 これらの活用事例や詳細を網羅した資料をご用意しました。 ぜひダウンロードしてご活用ください。詳細はお気軽にお問い合わせください。
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基本情報
それぞれの製品詳細につきましては、ラインナップおよびIPROS内の各製品ページ、カタログページもしくは弊社公式ホームページをご覧ください。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造分野、自動車分野や自動車部品産業などにおいて監視、制御、最適化に使用されています。 【半導体製造分野】 ・グラインダ：研磨工程の荷重制御 ・ウエハ接合、剥離工程の荷重監視 ・ダイサーブレードのチッピングの検出 ・ダイソータ、ハンドラでの過負荷検知 ・ダイボンダ、フリップチップボンダでの荷重フィードバック制御 ・封止成形の樹脂圧力監視・異常検出 ・コンタクトプローブのスプリングピンの検査 【自動車産業分野】 • シャシーの機械的衝撃 • バランシングマシンの力測定 • クラッシュテストでの衝撃力測定 • 車軸にかかる力測定 【材料試験分野】 • 衝撃試験、引張り圧縮強度試験 【工作機械分野】 • モニタリング：プレス機、パンチングマシン、エンボス加工機、溶接機 • 長手方向軌道面上での力測定 • 機械加工の切削力測定 【汎用機械製造分野】 • 把持力（油圧シリンダと組合わせて使用） • 締結時の部品の挿入および圧入力 【品質管理分野】 • スイッチ類の操作力検査 • 自動組立機のモニタ
ラインアップ（10）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| 90x1シリーズ | ロードワッシャ 測定方向：圧縮方向(Fz) プリロード：要 感度表：あり |
| 910xシリーズ | ロードワッシャ 測定方向：圧縮方向(Fz) プリロード：要 感度表：なし |
| 93x1シリーズ | フォースリンク 測定方向：圧縮 / 引張方向(Fz) プリロード：不要 感度表：あり |
| 93x3シリーズ | プレスフォースリンク 測定方向：圧縮方向(Fz) プリロード：不要 感度表：あり |
| 913xシリーズ | 薄型力センサ ケーブル一体型 測定方向：圧縮方向(Fz) プリロード：要 感度表：なし |
| 917xシリーズ | 薄型フォースリンク ケーブル一体型 測定方向：圧縮 / 引張方向(Fz) プリロード：不要 感度表：あり |
| 914xシリーズ | 薄型せん断力センサ ケーブル一体型 測定方向：せん断方向 プリロード：要 感度表：なし |
| 92xxシリーズ | 高感度力センサ 微小力測定用 測定方向：圧縮方向 / 引張方向 プリロード：不要 感度表：なし |
| 90x7C、90x8C、90x6C4 シリーズ | 3成分力センサ 測定方向：せん断方向(Fx, Fy) / 引張方向(Fz) プリロード：要 感度表：あり |
| 93x7Cシリーズ | 3成分フォースリンク 測定方向：せん断方向(Fx, Fy) / 引張方向(Fz) プリロード：不要 感度表：あり |
カタログ（18）
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企業情報
日本キスラーは、水晶圧電式の技術で世界をリードしているキスラーインストルメンテ社（スイス）の日本法人です。 キスラー社は長年にわたって製品研究開発へ多額の投資を行い、多くの革命的な技術開発を成し遂げ、あらゆる測定上の問題を世界に先駆けて解決してきました。 日本キスラーは1985年の創立以来、経験に裏付けされた高い技術力をもとに、国内およびアジアパシフィック地域のお客様に、圧電式センサ、歪センサ、チャージアンプ、データ処理/解析ソフトなど多岐に渡る製品、および関連機器の販売、技術サポート、品質管理サービスを提供し続けています。 ※弊社の取り扱い製品一覧や新着ニュースにつきましては、ぜひ「特設サイト」よりご覧ください。 https://premium.ipros.jp/kistler/ ※また、ご質問などはご遠慮なく下記「お問い合わせ」フォームよりご連絡ください。
